非接触輪郭形状測定機

HOME新着情報非接触輪郭形状測定機
研究分野 エネルギー制御・省エネ技術開発
機器番号 24
設備名 非接触輪郭形状測定機 【フロンティアに移設】
規格 三鷹光器(株) MLP-2
用途 非接触式のレーザプローブを用い、被測定物の形状・寸法を評価する。
レーザ光のスポットは直径1μm(対物レンズ100倍時)と非常に小さく、これをプローブとして表面を探り、幅、高さ、直径等の寸法測定を自動で行う。
被測定物に傷をつけることなく、数μm程度の凹凸を高精度に測定することが可能。用途例は、機械加工された製品の寸法精度評価・不良の発見、加工工具(砥石、砥粒、バイト、パンチ、エンドミル、ドリルなど)の形状測定・摩耗測定、あらさ測定、真円度測定など。
仕様・特徴 ・測定方式:ステージ走査型レーザプローブ方式、ポイントオートフォーカス
・測定範囲:φ80mm以下
・分解能:軸方向0.01μm、周方向0.1μm
・被測定物の材料:金属、樹脂、ガラス、セラミック、液体など
設置場所 フロンティア研究センター
連絡先 とくしま地域産学官共同研究拠点
Tel:088-656-9330
E-mail:kyotenjim@tokushima-u.ac.jp

 

24.jpg

PAGE TOP