研究分野	エネルギー制御・省エネ技術開発
機器番号	24
設備名	非接触輪郭形状測定機
規格	三鷹光器(株) MLP-2
用途	非接触式のレーザプローブを用い、被測定物の形状・寸法を評価する。 レーザ光のスポットは直径1μm(対物レンズ100倍時)と非常に小さく、これをプローブとして表面を探り、幅、高さ、直径等の寸法測定を自動で行う。 被測定物に傷をつけることなく、数μm程度の凹凸を高精度に測定することが可能。用途例は、機械加工された製品の寸法精度評価・不良の発見、加工工具(砥石、砥粒、バイト、パンチ、エンドミル、ドリルなど)の形状測定・摩耗測定、あらさ測定、真円度測定など。
仕様・特徴	・測定方式:ステージ走査型レーザプローブ方式、ポイントオートフォーカス ・測定範囲:φ80mm以下 ・分解能:軸方向0.01μm、周方向0.1μm ・被測定物の材料:金属、樹脂、ガラス、セラミック、液体など
設置場所	ポストLEDフォトニクス研究所
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