研究分野	材料・部品の分析評価
機器番号	6
設備名	顕微加工観測装置
規格	日本電子(株) JEM-9320FIB
用途	微細領域の内部構造を観測するため、収束イオンビームにより微小領域のエッチング加工を行う装置である。
仕様・特徴	・加速電圧:最大30kV ・倍率:x150〜x300,000 ・像分解能:6nm ・最大ビーム電流:30nA
設置場所	分析評価室
連絡先	こちらの表をご確認ください。 ■新・機器設置場所、連絡先一覧