顕微加工観測装置

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研究分野 材料・部品の分析評価
機器番号 6
設備名 顕微加工観測装置
規格 日本電子(株) JEM-9320FIB
用途 微細領域の内部構造を観測するため、収束イオンビームにより微小領域のエッチング加工を行う装置である。
仕様・特徴 ・加速電圧:最大30kV
・倍率:x150〜x300,000
・像分解能:6nm
・最大ビーム電流:30nA
設置場所 分析評価室
連絡先 とくしま地域産学官共同研究拠点
Tel:088-656-9330
E-mail:kyotenjim@tokushima-u.ac.jp

 

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