研究分野	材料・部品の分析評価
機器番号	5
設備名	微細構造観察装置
規格	日本電子(株) JSM-6510A
用途	材料・部品等の不良解析や、特性評価、不純物、異物の分析評価を行うため、微細電子線を試料に 走査して照射し、微細な構造の形状観測、微細領域の組成分析及びそれらの二次元マップ評価などを行う装置である。
仕様・特徴	走査型分析顕微鏡を基本とする装置で、走査電子顕微鏡観測、エネルギー分散型X線分析器による 元素分析が可能である。 また、電子線の位置制御機能が付属しており、CADで作成された二次元領域に選択的に電子線照射をすることも可能である。 ・加速電圧:1～30kV ・観測倍率:～300,000倍 ・X線検出器は液体窒素冷却
設置場所	分析評価室
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