研究分野	材料・部品の分析評価
機器番号	4
設備名	レーザー顕微鏡
規格	オリンパス(株) OLS3500-PTU
用途	同一観測地点をミリメートルスケールからナノメートルスケールまで、光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、 プローブ顕微鏡の三つのモードで観測できる装置であり、材料部品の不良解析などのために、 その形状等を観測するための設備である。
仕様・特徴	[光学顕微鏡部分] ・対物レンズ:x5、x20、x100 [レーザ顕微鏡部分] ・光源:409nm ・Z軸表示分解能:1nm [プローブ顕微鏡部分] ・走査範囲:30μmx30μmx4μm
設置場所	分析評価室
連絡先	こちらの表をご確認ください。 ■新・機器設置場所、連絡先一覧