レーザー顕微鏡

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研究分野 材料・部品の分析評価
機器番号 4
設備名 レーザー顕微鏡
規格 オリンパス(株) OLS3500-PTU
用途 同一観測地点をミリメートルスケールからナノメートルスケールまで、光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、
プローブ顕微鏡の三つのモードで観測できる装置であり、材料部品の不良解析などのために、
その形状等を観測するための設備である。
仕様・特徴 [光学顕微鏡部分]
・対物レンズ:x5、x20、x100
[レーザ顕微鏡部分]
・光源:409nm
・Z軸表示分解能:1nm
[プローブ顕微鏡部分]
・走査範囲:30μmx30μmx4μm
設置場所 分析評価室
連絡先 とくしま地域産学官共同研究拠点
Tel:088-656-9330
E-mail:kyotenjim@tokushima-u.ac.jp

 

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