機器番号24 非接触輪郭形状測定機

2017年5月29日
研究分野 エネルギー制御・省エネ技術開発
機器番号 24
設備名 非接触輪郭形状測定機
規格 三鷹光器(株) MLP-2
用途

非接触式のレーザプローブを用い、被測定物の形状・寸法を評価する。

レーザ光のスポットは直径1μm(対物レンズ100倍時)と非常に小さく、これをプローブとして

表面を探り、幅、高さ、直径等の寸法測定を自動で行う。被測定物に傷をつけることなく、

数μm程度の凹凸を高精度に測定することが可能。用途例は、機械加工された製品の寸法

精度評価・不良の発見、加工工具(砥石、砥粒、バイト、パンチ、エンドミル、ドリルなど)の

形状測定・摩耗測定、あらさ測定、真円度測定など。

仕様・特徴
  • 測定方式:ステージ走査型レーザプローブ方式、ポイントオートフォーカス
  • 測定範囲:φ80mm以下
  • 分解能:軸方向0.01μm、周方向0.1μm
  • 被測定物の材料:金属、樹脂、ガラス、セラミック、液体など
設置場所 エネルギー制御・環境技術開発室
連絡先

徳島大学大学院理工学研究部機械科学系

溝渕 啓 講師

E-mail:a-mizobuchi@tokushima-u.ac.jp

利用マニュアル

 

装置利用マニュアル(24.非接触輪郭形状測定器).pdf(134KB)

※ご利用いただく前に実稼働時間をご確認ください。
※機器利用料金についてはこちらのページをご確認ください。

 

 

機器番号24 非接触輪郭形状測定機