機器番号6 顕微加工観測装置

2017年5月29日
研究分野 材料・部品の分析評価
機器番号 6
設備名 顕微加工観測装置
規格 日本電子(株) JEM-9320FIB
用途

微細領域の内部構造を観測するため、収束イオンビームにより微小領域のエッチング加工を行う装置で

ある。

仕様・特徴
  • 加速電圧:最大30kV
  • 倍率:x150〜x300,000
  • 像分解能:6nm
  • 最大ビーム電流:30nA
設置場所 製品分析評価室
連絡先

理工学部理工学科情報光システムコース

原口雅宣 教授

E-mail:haraguchi.masanobu@tokushima-u.ac.jp

利用

マニュアル

 

装置利用マニュアル(6.FIB).pdf(292KB)

※ご利用いただく前に実稼働時間をご確認ください。
※機器利用料金についてはこちらのページをご確認ください。

 

 

機器番号6 顕微加工観測装置