機器番号4 レーザー顕微鏡

2017年5月29日
研究分野 材料・部品の分析評価
機器番号 4
設備名 レーザー顕微鏡
規格 オリンパス(株) OLS3500-PTU
用途

同一観測地点をミリメートルスケールからナノメートルスケールまで、光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、

プローブ顕微鏡の三つのモードで観測できる装置であり、材料部品の不良解析などのために、

その形状等を観測するための設備である。

仕様・特徴

[光学顕微鏡部分]

  • 対物レンズ:x5、x20、x100

[レーザ顕微鏡部分]

  • 光源:409nm
  • Z軸表示分解能:1nm

[プローブ顕微鏡部分]

  • 走査範囲:30μmx30μmx4μm
設置場所 製品分析評価室
連絡先

理工学部理工学科電気電子システムコース

直井美貴 教授

E-mail:naoi@ee.tokushima-u.ac.jp

利用

マニュアル

 装置利用マニュアル(4.レーザー顕微鏡).pdf(333KB)

※ご利用いただく前に実稼働時間をご確認ください。

※機器利用料金についてはこちらのページをご確認ください。

 

 

機器番号4 レーザー顕微鏡